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上海協邁自動化設備有限公司
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聯系人：吳小姐：15900680211
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產品名稱：高真空元件
產品類別：SMC氣動元件

產品簡介：

鋁制高真空L型閥   XL□
 
 

 
系列/CAD 動作方式 軸密封形式
 		 閥形式 材質 法蘭尺寸
XLA  氣控 波紋管密封 單作用
(N.C.)		 閥體：
　 鋁合金
波紋管：
　SUS316L		 16～80
XLAV
(帶電磁閥) 
XLC  雙作用
XLCV
(帶電磁閥) 
XLF  O形圈密封
 		 單作用
(N.C.)		 閥體：
　 鋁合金		 16～160
XLFV
(帶電磁閥) 
XLG  雙作用 16～80
XLGV
(帶電磁閥) 
XLD  波紋管?
O形圈密封
 		 單作用
(N.C.)		 閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L		 25～80
XLDV
(帶電磁閥) 
XLH  手動 波紋管密封
 		 手動 閥體：
　鋁合金
波紋管：
　SUS316L		 16～50
XLS  電磁式 波紋管壓力平衡 單作用
(N.C.)		 16, 25
特長
  • 抗氟腐蝕能力強。
  • 放出氣體少。
  • 重金屬污染少。

鋁制快換接頭裝拆 高真空L型閥  XLAQ·XLDQ
 
 

 
系列/CAD 動作方式 軸密封形式 閥形式 材質 法蘭尺寸
XLAQ  氣控 波紋管密封 單作用
(N.C.)		 閥體：
　鋁
波紋管：
　SUS316L		 16～50
XLDQ  波紋管密封
O形圈密封		 40,50
特長
  • 快換接頭裝拆 (無需工具)

不銹鋼制高真空L型閥／直通閥  XM/XY
 
 

注）對直通型無尺寸16的閥。
系列/CAD
(L型/直通型)		 動作方式 軸密封方式 閥形式 材質 法蘭尺寸
XMA/XYA  氣控 波紋管密封 單作用
(N.C.)		 閥體：
　 SCS13
　 (相當SUS304) 
波紋管：
　 SUS316L		 16～80注）
XMC/XYC  雙作用
XMD/XYD  波紋管
O型圈密封		 單作用
(N.C.)		 閥體：
　SCS13
　(相當SUS304)
波紋管：
　SUS316L		 25～80
XMH/XYH  手動 波紋管密封 手動 閥體：
　SCS13
　 (相當SUS304)
波紋管：
　SUS316L		 16～50注）
特長
  • 采用精密鑄造一體化結構，無氣體滯留。
  • 與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)

磁性開關   D
 
 

 
系列 磁性開關種類 內容
D Series  有觸點的磁性開關 一般 (通用型)
無觸點的磁性開關 一般 (通用型)

平穩出氣閥   XVD
 
 

 
系列/CAD 閥形式 使用流體 配管連接方式 配管尺寸
XVD  常斷
(加壓通/彈簧密封)		 氮氣、空氣、惰性氣體等 VCR®
Swagelok®		 1/4B
特長
  • 閥與針閥一體化結構使配管縮短為原來的1/4。
  • (閥芯)座部分采用間隙隔膜，微粒子數量大幅降低。
  • 伴隨主供氣初期供氣可進行流量調整。

門閥   XGT
 
 

 
系列/CAD 使用壓力范圍 (Pa) 使用流體 門尺寸
(高×寬) (mm)		 動作壓力
(MPa)
XGT  大氣壓～1×10-6 惰性氣體系的真空 32×222
46×236
50×336		 0.45～0.6
特長
  • 對于半導體裝置等場合、適合于負載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。

真空無桿氣缸   CYV
 
 

 
系列/CAD 使用環境壓力｛Pa (ABS)｝ 缸徑 (mm)
CYV  大氣～1.3×10-4 15,32
特長
  • 真空環境內 (1.3×10-4Pa) 在搬運場合可以使用的氣缸。

 
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